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簡易流量控制安裝 在先進的質量流量測量基礎上，Compod?搭配了Sierra的Smart-Trak? 2質量流量計或流量控制器使得設備網絡組態更加方便。通過開源RTU協議，Compod?也可以監控或診斷流量控制器的內部系統參數值。用戶在配備了Compod?后可以對Smart-Trak?質量流量計和控制器進行更復雜的控制，兩路數字輸出和一路模擬輸入可以對以下工藝參數進行配置
? Physical Vapor Deposition (Sputtering)
? 壓力監控及控制
? 氣體比率控制
? 內部閥門性能監測
? 多報警信號設置
? 客戶自定義流量啟動停止配置
? 氣體累計及可調脈沖輸出設置
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